真空静电封接机的设备用途、特点：

真空静电封接机用于传感器和集成电路制造技术的后道关键工序，实现芯片的无应力、无蠕变封装；以保证高灵敏度、高精度的传感器器件性能、质量以及成品率；是传感器和集成电路制造技术的关键设备。封接电压可调，极性可变，可满足单面封接和双面封接，电极采用多点浮动加压方式。封接温度可调，加热元件采用内热板式加热，热效率高, 寿命长。

封接机技术指标：