真空注油机的设备用途、特点：

该设备用于MEMS硅基压力隔离液净化和充灌，通过在隔离膜片和硅芯片之间充灌硅油介质，隔离硅芯片与外界环境，保护硅芯片免受外界环境的不良影响，同时使隔离膜片感受到的测量压力无损的传递到硅芯片上。广泛用于压力传感器充油芯体的生产过程。该设备具有温度均匀可控、真空度高、抽气速率快、操作方便简单等特点。

控制系统由PLC控制动作，智能温控仪控制温度，控制准确，自动化程度高，可实现全自动/手动无扰动切换及异常报警功能，操作简单可靠。

主要技术指标：

注：特殊规格可按用户要求定制