成套超高真空系统及设备

成套超高真空设备广泛应用于材料科学、光学、物理学、空间科学实验、精密加工等领域的科研与生产中。

一、真空高压测试装置：

二、磁控溅射设备

三、磁控溅射膜厚生长设备：

技术参数：

真空室尺寸：按要求定制

漏率：     ＜10^-8pa.l/s

真空室材质：304/316L  可选