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真空烧结炉有哪些应急措施?

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真空烧结炉有哪些应急措施?

发布日期:2021-10-04 作者: 点击:

真空烧结炉有哪些应急措施?

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。

一、停电  

1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。  

2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。  

3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。 

二、加热电源掉电  

1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。  

真空烧结炉

2、接地故障。  

3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处须要连接牢固,与反射屏绝缘要好。  

4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。  

三、充气气体停止  

1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。  

2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。  

4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。

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